Ultra Profilometer ：
Profile(Core & Lens)
Panasonic UA3P - 5 / UA3P - 400T

Accuracy：
A-Ruby Stylus：
a).Tilt angle < 30°：0.01 to 0.05 μm ；
b).Tilt angle < 45°：~ 0.1 μm ；
c).Tilt angle < 60°：~ 0.3μm

B-Standard diamond stylus ：
Tilt angle < 30°：~ 0.1μm

Measurement Range：
200 x 200mm

CMM Mold Dimension
(Werth, VideoCheck HA)

Accuracy：
(0.6 + L / 600)µm

Measurement Range：
300x400x80 mm

Loading :
< 12 kg

White light interferometer
(Zygo, Zegage Plus)

Surface Topography：
< 0.15nm

Repeatability ：
< 0.05nm
2.75 X / 5.5 X / 20 X Objective

Round Test Machine
Mold Circularity
(Mitutoyo, RA2100)

Radial Accuracy=(0.02+3.8H / 10000)µm
Axial Accuracy=(0.02 + 3.8X / 10000)μm

Zeiss CMM
-Mold Dimension
-Profile(Core & Lens)

Accuracy：
(1.8+L / 300)µm

Measurement Range：
700 x 700 x 600 mm